单极性脉冲磁控溅射电源
电弧反应灵敏,提高镀膜效率
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真空镀膜电源产品
离子源电源操作容易、制成的薄膜纯度高 、质量好，厚度可较准确控制、成膜速率快，效率高；薄膜的生长机理比较简单
正弦波中频磁控溅射电源平衡靶材溅射速率，节省靶材成本，具备普通中频电源所有功能，镀膜质量及均匀性均有所上升。
方波中频磁控溅射电源镀膜速度提升20%以上，可调方波，具备普通中频电源所有功能中频磁控溅射电源膜层致密、光洁度较好,增加离化率
直流磁控溅射电源 输出稳定，精度高，效率高
pecvd电源用于pecvd镀膜离子加速电源用于镀膜时的离子加速离子渗电源改善膜层质量，提高膜层均匀性
直流偏压电源改善膜层质量，抑制工件表面异常放电
hipims高功率脉冲磁控溅射电源绕射性优异，抗腐蚀、耐磨损单极性脉冲偏压电源改善膜层质量，提高膜层均匀性直流偏压电源改善膜层质量，抑制工件表面异常放电单极性脉冲偏压电源改善膜层质量，提高膜层均匀性双极性脉冲偏压电源改善膜层质量，提高膜层均匀性
弧电源无源触点引弧方式，电弧反应灵敏hipims高功率脉冲磁控溅射电源绕射性优异，抗腐蚀、耐磨损直流偏压电源改善膜层质量，抑制工件表面异常放电
阳极电源辅助清洗工件，提高结合力阳极电源辅助清洗工件，提高结合力直流偏压电源改善膜层质量，抑制工件表面异常放电正弦波中频磁控溅射电源平衡靶材溅射速率，节省靶材成本，具备普通中频电源所有功能，镀膜质量及均匀性均有所上升。方波中频磁控溅射电源镀膜速度提升20%以上，可调方波，具备普通中频电源所有功能离子源电源操作容易、制成的薄膜纯度高 、质量好，厚度可较准确控制、成膜速率快，效率高；薄膜的生长机理比较简单弧电源无源触点引弧方式，电弧反应灵敏pecvd电源用于pecvd镀膜离子加速电源用于镀膜时的离子加速离子渗电源改善膜层质量，提高膜层均匀性阳极电源辅助清洗工件，提高结合力直流偏压电源改善膜层质量，抑制工件表面异常放电正弦波中频磁控溅射电源平衡靶材溅射速率，节省靶材成本，具备普通中频电源所有功能，镀膜质量及均匀性均有所上升。pecvd电源用于pecvd镀膜离子加速电源用于镀膜时的离子加速离子渗电源改善膜层质量，提高膜层均匀性阳极电源辅助清洗工件，提高结合力正弦波中频磁控溅射电源平衡靶材溅射速率，节省靶材成本，具备普通中频电源所有功能，镀膜质量及均匀性均有所上升。方波中频磁控溅射电源镀膜速度提升20%以上，可调方波，具备普通中频电源所有功能阳极电源辅助清洗工件，提高结合力正弦波中频磁控溅射电源平衡靶材溅射速率，节省靶材成本，具备普通中频电源所有功能，镀膜质量及均匀性均有所上升。方波中频磁控溅射电源镀膜速度提升20%以上，可调方波，具备普通中频电源所有功能离子源电源操作容易、制成的薄膜纯度高 、质量好，厚度可较准确控制、成膜速率快，效率高；薄膜的生长机理比较简单单极性脉冲磁控溅射电源电弧反应灵敏,提高镀膜效率中频磁控溅射电源膜层致密、光洁度较好,增加离化率pecvd电源用于pecvd镀膜离子加速电源用于镀膜时的离子加速离子渗电源改善膜层质量，提高膜层均匀性pecvd电源用于pecvd镀膜离子加速电源用于镀膜时的离子加速离子渗电源改善膜层质量，提高膜层均匀性直流偏压电源改善膜层质量，抑制工件表面异常放电正弦波中频磁控溅射电源平衡靶材溅射速率，节省靶材成本，具备普通中频电源所有功能，镀膜质量及均匀性均有所上升。方波中频磁控溅射电源镀膜速度提升20%以上，可调方波，具备普通中频电源所有功能pecvd电源用于pecvd镀膜离子加速电源用于镀膜时的离子加速离子渗电源改善膜层质量，提高膜层均匀性直流偏压电源改善膜层质量，抑制工件表面异常放电正弦波中频磁控溅射电源平衡靶材溅射速率，节省靶材成本，具备普通中频电源所有功能，镀膜质量及均匀性均有所上升。方波中频磁控溅射电源镀膜速度提升20%以上，可调方波，具备普通中频电源所有功能阳极电源辅助清洗工件，提高结合力直流偏压电源改善膜层质量，抑制工件表面异常放电正弦波中频磁控溅射电源平衡靶材溅射速率，节省靶材成本，具备普通中频电源所有功能，镀膜质量及均匀性均有所上升。方波中频磁控溅射电源镀膜速度提升20%以上，可调方波，具备普通中频电源所有功能离子源电源操作容易、制成的薄膜纯度高 、质量好，厚度可较准确控制、成膜速率快，效率高；薄膜的生长机理比较简单hipims高功率脉冲磁控溅射电源绕射性优异，抗腐蚀、耐磨损pecvd电源用于pecvd镀膜离子加速电源用于镀膜时的离子加速离子渗电源改善膜层质量，提高膜层均匀性阳极电源辅助清洗工件，提高结合力直流偏压电源改善膜层质量，抑制工件表面异常放电正弦波中频磁控溅射电源平衡靶材溅射速率，节省靶材成本，具备普通中频电源所有功能，镀膜质量及均匀性均有所上升。pecvd电源用于pecvd镀膜离子加速电源用于镀膜时的离子加速离子渗电源改善膜层质量，提高膜层均匀性阳极电源辅助清洗工件，提高结合力直流偏压电源改善膜层质量，抑制工件表面异常放电正弦波中频磁控溅射电源平衡靶材溅射速率，节省靶材成本，具备普通中频电源所有功能，镀膜质量及均匀性均有所上升。直流磁控溅射电源 输出稳定，精度高，效率高单极性脉冲磁控溅射电源电弧反应灵敏,提高镀膜效率 -
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